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本書是目前國內外唯一敘述集成化MEMS的專著。CMOS電路技術是當今微電子的主流技術，本書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和應用。內容包括CMOS MEMS的制備工藝、材料表征及其與電路或系統的集成化技術；CMOS MEMS技術在慣性傳感器、壓力傳感器、指紋傳感器系統、化學傳感器、生化傳感器、熱傳感器和RF器件及系統中的應用。
本書由國際上20余位知名專家撰寫，內容豐富，參考文獻全面。適合于微電子技術、微機電系統（MEMS）技術、傳感器技術、通訊技術等相關領域的高年級本科生、研究生和工程技術人員參考。

1　制造工藝
　1.1　CMOS工藝
　1.2　CMOS兼容的微機械加工工藝模塊
　1.3　MEMS和NEMS的CMOS兼容設計
　1.4　CMOS的微機械加工
　1.5　結束語
　1.6　參考文獻
2　材料表征
　2.1　引言
　2.2　電特性和熱電特性
　2.3　熱特性
　2.4　機械特性
　2.5　結束語
　2.6　參考文獻
3　單片集成慣性傳感器
　3.1　引言
　3.2　集成多晶硅慣性傳感器
　3.3　采用CMOS標準工藝加工的薄膜慣性傳感器
　3.4　金屬慣性傳感器
　3.5　體硅加工集成MEMS慣性傳感器
　3.6　發展趨勢
　3.7　參考文獻
4　CMOS　MEMS聲學器件
　4.1　引言
　4.2　麥克風
　4.3　揚聲器
　4.4　超聲
　4.5　結論
　4.6　參考文獻
5　CMOS　RF　MEMS
6　CMOS壓力傳感器
7　CMOS化學傳感器
8　生物測定CMOS電容式指紋傳感器系統
9　CMOS生化敏感系統
10　CMOS熱傳感器
11　電路和系統集成