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本書介紹了應用COMSOL Multiphysies有限元軟件建立MEMS模型的基本方法和過程，并輔以典型MEMS建模實例，圖文并茂。全書共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有關COMSOL Multiphysies軟件中MEMS建立模型的基本過程；第2章以6個典型模型為藍本，詳細介紹了MEMS建模的一般方法；第3、4、5章分別介紹了微傳感器、微通道、微壓電裝置的MEMS建模方法和過程。書中引用的模型實例均為有關領域專家、學者開發，具有高度的可靠性。
本書可供MEMS研究人員和愛好者，以及高等院校相關專業師生閱讀、參考。

1 基本建模過程
　1.1 模型向導
　1.2 選項與設置
　1.3 繪制幾何圖
　1.4 設置物理性質
　1.5 耦合應用模式
　1.6 劃分網格
　1.7 求解模型
　1.8 后處理分析結果
2 MEMS受激模型
　2.1 懸臂梁模型
　　2.1.1 概述
　　2.1.2 模型定義
　　2.1.3 求解結果
　　2.1.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　2.1.5 用戶圖形界面建模
　2.2 梳狀驅動器模型（Comb Drive）
　　2.2.1 概述
　　2.2.2 模型定義
　　2.2.3 應用COMSOL Multiphysics建模
　　2.2.4 結果與分析
　　2.2.5 用戶圖形界面建模
　2.3 電容性3D梳狀驅動器模型（3D Comb Drive）
　　2.3.1 概述
　　2.3.2 有關理論
　　2.3.3 結果與分析
　　2.3.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　2.3.5 用戶圖形界面建模
　2.4 微電阻梁模型（Microresistor Beam）
　　2.4.1 概述
　　2.4.2 結果與分析
　　2.4.3 應用COMSOL Multiphysics建模
　　2.4.4 用戶圖形界面建模
　2.5 預應力微型鏡模型
　　2.5.1 概述
　　2.5.2 模型定義
　　2.5.3 結果與分析
　　2.5.4 用戶圖形界面建模
　2.6 薄膜共振的殘余應力模型
　　2.6.1 概述
　　2.6.2 模型定義
　　2.6.3 結果與分析
　　2.6.4 用戶圖形界面建模（2D，Straight Cantilevers）
　　2.6.5 用戶圖形界面建模（2D，Folded Cantilevers）
　　2.6.6 用戶圖形界面建模（3D，Straight Cantilevers）
　　2.6.7 用戶圖形界面建模（3D，Folded Cantilevers）
　2.7 熱-機作用的微型閥模型
　　2.7.1 模型定義
　　2.7.2 應用COMSOL Multiphsics建模
　　2.7.3 結果與分析
　　2.7.4 用戶圖形界面建模（2D）
　　2.7.5 用戶圖形界面建模（3D）
3 MEMS傳感器模型
　3.1 擠壓氣膜阻尼式加速度傳感器模型
　　3.1.1 概述
　　3.1.2 模型定義
　　3.1.3 結果與分析
　　3.1.4 用戶圖形界面建模（2D）
　　3.1.5 用戶圖形界面建模（3D）
　3.2 電容性壓力傳感器模型
　　3.2.1 概述
　　3.2.2 模型定義
　　3.2.3 結果與分析
　　3.2.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　3.2.5 用戶圖形界面建模
4 微通道流動模型
　4.1 交流動電學的增強表面反應模型
　　4.1.1 概述
　　4.1.2 模型定義
　　4.1.3 結果與分析
　　4.1.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.1.5 用戶圖形界面建模
　4.2 動電閥中的傳輸模型
　　4.2.1 概述
　　4.2.2 模型定義
　　4.2.3 結果與分析
　　4.2.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.2.5 用戶圖形界面建模
　4.3 ALE流動-結構相互作用模型
　　4.3.1 概述　　
　　4.3.2 模型定義
　　4.3.3 結果與分析
　　4.3.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.3.5 用戶圖形界面建模
　4.4 薄片層流混合模型
　　4.4.1 概述
　　4.4.2 模型定義
　　4.4.3 結果與分析
　　4.4.4 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.4.5 用戶圖形界面建模
　4.5 微電滲混合器模型
　　4.5.1 模型定義
　　4.5.2 結果與分析
　　4.5.3 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.5.4 用戶圖形界面建模
　4.6 星形微通道芯片模型
　　4.6.1 模型定義
　　4.6.2 結果與分析
　　4.6.3 應用COMSOL Multiphysics建模
　　4.6.4 用戶圖形界面建模
5 壓電裝置模型
　5.1 壓電陶瓷管模型
　　5.1.1 模型定義
　　5.1.2 結果與分析
　　5.1.3 應用COMSOL Multiphysics建模
　　5.1.4 用戶圖形界面建模
　5.2 壓電式剪切驅動梁模型
　　5.2.1 模型定義
　　5.2.2 結果
　　5.2.3 應用COMSOL Multipbysics建模
　　5.2.4 用戶圖形界面建模
　5.3 復合式壓電換能器模型
　　5.3.1 概述
　　5.3.2 結果
　　5.3.3 用戶圖形界面建模
參考文獻