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微波等離子體化學氣相沉積法制備C3N4薄膜的結構研究

2013-03-13 我要評論(0) 字號:
主題資源: 微波等離子
資料語言: 簡體中文
資料類別: PDF文檔
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評論等級:
更新時間: 2013-03-13 15:08:00
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資料簡介

物理學報  2001, Vol. 50  Issue (7): 1396-1400
顧有松1, 張永平2, 高鴻鈞2, 張秀芳2
(1)北京科技大學材料物理系,北京100083; (2)中國科學院物理研究所,凝聚態物理中心北京真空物理實驗室,北京100080
STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
GU YOU-SONG1, ZHANG YONG-PING2, GAO HONG-JUN2, ZHANG XIU-FANG2

物理學報  2001, Vol. 50  Issue (7): 1396-1400
顧有松1, 張永平2, 高鴻鈞2, 張秀芳2
(1)北京科技大學材料物理系,北京100083; (2)中國科學院物理研究所,凝聚態物理中心北京真空物理實驗室,北京100080
STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
GU YOU-SONG1, ZHANG YONG-PING2, GAO HONG-JUN2, ZHANG XIU-FANG2

引用本文:   
張永平,顧有松,高鴻鈞 等 . 微波等離子體化學氣相沉積法制備C3N4薄膜的結構研究. 物理學報, 2001, 50(7): 1400. 
Cite this article:   
ZHANG YONG-PING,GU YOU-SONG,GAO HONG-JUN et al. STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. Acta Phys. Sin., 2001, 50(7): 1396-1400. 

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