物理學(xué)報(bào)  2001, Vol. 50  Issue (10): 2017-2022

葉超, 寧兆元, 程珊華
蘇州大學(xué)物理系,蘇州215006
OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS PREPARED BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA
YE CHAO, NING ZHAO-YUAN, CHENG SHAN-HUA

摘要： 用紫外可見光透射光譜(UV-VIS)并結(jié)合鍵結(jié)構(gòu)的X射線光電子能譜(XPS)和紅外譜(FTIR)分析,研究了電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制備的氟化非晶碳薄膜的光吸收和光學(xué)帶隙性質(zhì).在微波功率為140—700W、源氣體CHF3∶C6H6比例為1∶1—10∶1條件下沉積的薄膜,光學(xué)帶隙在1.76—2.85eV之間.薄膜中氟的引入對(duì)吸收邊和光學(xué)帶隙產(chǎn)生較大的影響,吸收邊隨氟含量的提高而增大,光學(xué)帶隙則主要取決于CF鍵的含量,是由于強(qiáng)電負(fù)

引用本文:   
葉超,寧兆元,程珊華. 電子回旋共振等離子體增強(qiáng)沉積氟化非晶碳薄膜的光學(xué)性質(zhì). 物理學(xué)報(bào), 2001, 50(10): 2022. 
Cite this article:   
YE CHAO,NING ZHAO-YUAN,CHENG SHAN-HUA. OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS PREPARED BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA. Acta Phys. Sin., 2001, 50(10): 2017-2022. 

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