基于MEMS技術(shù)的濾波器是現(xiàn)行RF 結(jié)構(gòu)中一個(gè)關(guān)鍵的MEMS器件。與傳統(tǒng)的采用金屬 矩形或圓柱波導(dǎo)以及半導(dǎo)體元件制作的濾波器相比,MEMS濾波器具有低損耗、高隔離度、線性好、體積小、易于集成等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)利用MEMS 技術(shù)制作的濾波器做了分類總結(jié), 綜述了近幾年 MEMS 濾波器的研究進(jìn)展, 包括硅體微加工濾波器、LIGA 傳輸線型濾波器和基于MEMS 開關(guān)/電 容實(shí)現(xiàn)的可調(diào)濾波器。指出可調(diào)濾波器的開發(fā)適應(yīng)微波、毫米波波段的多頻段、寬帶無線通信系統(tǒng)的迫切需要, 具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。

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