• 標準編號：GB/T 26068-2010
• 標準名稱：硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法
• 行業分類：國家標準(GB)
• 中標分類：半金屬與半導體材料綜合(H80)
• ICS分類：半導體材料(29.045)
• 標準簡介：－
• 英文名稱：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
• 發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
• 發布日期：2011-01-10
• 實施日期：2011-10-01
• 首發日期：－
• 提出單位：－
• 歸口單位：全國半導體設備和材料標準化委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
• 主管部門：全國半導體設備和材料標準化委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
• 起草單位：有研半導體材料股份有限公司、瑟米萊伯貿易(上海)有限公司、中國計量科學研究院、萬向硅峰電子有限公司、廣州昆德科技有限公司、洛陽單晶硅有限責任公司
• 起草人：曹孜、孫燕、黃黎、高英、石宇、樓春蘭、王世進、張靜雯
• 計劃單號：－
• 頁數：28頁
• 出版社：中國標準出版社
• 出版日期：2011-10-01 

溫馨提示：本站不提供資料文件下載，僅提供文件名稱查詢，如有疑問請聯系我們。