當(dāng)在晶圓上執(zhí)行光電元器件的測(cè)量時(shí)(例如器件處理的早期階段，或者需要被測(cè)件電子接口的精確相位信息的平衡操作中)，為器件夾具和電纜提供全面參考而將電光校準(zhǔn)參考平面精確地?cái)U(kuò)展到被測(cè)件接口非常重要。電子多端口校準(zhǔn)套件、晶圓上校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件與表征工具一起使用，能夠以距離被測(cè)件最近的同軸接口為參考對(duì)設(shè)施執(zhí)行電子校準(zhǔn)，并將這個(gè)校準(zhǔn)平面擴(kuò)展到被測(cè)件連接平面，例如超出晶圓探頭。

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