11月9日至12日,第七屆國際發(fā)明展覽會暨國際教學(xué)新儀器和新設(shè)備展覽會在昆山舉行,微電子所“固態(tài)射頻電源系統(tǒng)”和“45-22nm集成式光學(xué)臨界尺度(OCD)在線檢測設(shè)備”兩個(gè)項(xiàng)目獲得“銀獎(jiǎng)”。
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