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微電子所“固態射頻電源系統”項目榮獲第七屆國際發明展銀獎

11月9日至12日，第七屆國際發明展覽會暨國際教學新儀器和新設備展覽會在昆山舉行，微電子所“固態射頻電源系統”和“45-22nm集成式光學臨界尺度（OCD）在線檢測設備”兩個項目獲得“銀獎”。