據中國國防科技信息網報道 位于法國巴黎的伯克利傳感器和執行器中心（BSAC）將于2012年1月29日舉辦研討會。此次研討會將介紹采用碳化硅和氮化鋁制造MEMS無線傳感器的目前研究情況以及未來展望，以應對低端惡劣環境下MEMS的應用。這些傳感器正在集成到碳化硅電子器件和氮化鋁儲能設備，以建造首個單芯片自供電無線傳感器系統。
這次研討旨在考察整個美國能源流情況（每年約100EJ），這些能量流大約85%由化石燃料燃燒產生的，所以研討會根據這個調查概述了一個高溫傳感器系統（600-1000°C）的幾種選擇方案。然后，將介紹能夠抵抗高溫環境的傳感器系列，包括一些已經在600°C、64000g沖擊和干蒸汽噴射環境下正常工作的傳感器原型。通過研究MEMS的制造方法，許多適合的薄膜材料將作為這次傳感器套件的候選材料。
接下來將要介紹的是許多現有的和已經研發中的傳感器，還將介紹碳化硅電子集成到傳感器相關技術以及碳化硅電子器件（包括有源和無源）制造和測試的最近研究成果。為了適應極端環境，RF部件采用氮化鋁相關技術以及溫度補償射頻濾波器的最近研究結果都將介紹和展示。研討會還會給出單芯片自供電無線傳感器系統的展望和未來相關技術的一系列結論。（工業和信息化部電子科學技術情報研究所 馮園園）
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