美國外延沉積和工藝設備制造商維易科儀器公司與比利時歐洲微電子研發中心（IMEC）開展項目合作，以降低硅基氮化鎵功率器件和LED的成本。

IMEC的首席科學家巴潤·杜塔說：“維易科公司的有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）設備在生產率、重復性、均勻性及晶體質量方面都有助于我們達到硅基氮化鎵LED和功率器件應用開發里程碑，有助于研制最先進的D模式（耗盡模式）和E模式（增強模式）功率器件。我們的目標是建立一個完整的生產基礎設施，使硅基氮化鎵成為一項具有競爭力的技術。”

IMEC與多行業伙伴合作開展硅基氮化鎵研究及相關項目，采用200毫米硅基底及200毫米CMOS兼容的基礎設施開發氮化鎵LED及功率器件。通過IMEC的合作，各公司共享成本、人才和知識產權，開發先進的技術，并盡快推向市場。

維易科儀器公司MOCVD的高級副總裁兼總經理吉姆·杰姆森說：“我們自從2011年就與IMEC合作開發此項目，并為我們所取得的進展感到鼓舞。我們的工作互惠互利，我們都專注于在使硅基氮化鎵器件性能保持世界一流的同時降低其成本。此項技術可用于研制低成本的用于固態照明的LED，以及用于電源及適配器、太陽能電池板的光伏逆變器、電動車的功率轉換的更高效的功率器件。

（工業和信息化部電子科學技術情報研究所 薛力芳）