安捷倫科技(Agilent Technologies Inc.)今天發表了集成電路特性描述與分析程式(IC-CAP) Wafer Professional (WaferPro) 軟件。該款新軟件為半導體元件的模擬應用,提供一個多元件(multi-site)、多晶圓的自動化直流與射頻測量解決方案。
WaferPro可以讓使用者控制半自動與全自動探針臺。因支援最新的切換矩陣和熱夾頭解決方案,WaferPro可在一個溫度范圍內自動執行局部(spot)和掃描(swept)測量。 WaferPro直接控制安捷倫4070和4080參數測試系統的能力,可大幅提升測量的速度。
使用WaferPro,每當溫度改變就會自動執行晶圓對準,如此可省去工程師監測測量的麻煩。測試計畫可以自動在不同的測量站,使用不同的硬體執行,以提高實驗室設備的利用率。以復雜結構為基礎的WaferPro,也可執行高效率的資料分析與處理,并為之后復雜的模擬作業提供良好的基礎。
臺灣安捷倫科技電子測量事業群總經理張志銘表示:“元件模擬的復雜度不斷提高,連帶增加了萃取與驗證所需的測量。統計模擬對晶圓代工廠來說是一大挑戰,但也是負責處理較小電晶體和較復雜應用的設計師必須優先考慮的事。此外,不只是制程開發與制造環境,就連元件模擬實驗室也愈來愈常采用安捷倫的參數測試系統。WaferPro是為了解決這些挑戰而率先推出的新產品。”