精工愛(ài)普生公司(Epson)宣布開(kāi)發(fā)出三種全新系列的精巧型石英振蕩器產(chǎn)品。新的SG-210S*H 系列振蕩器尺寸為2.5 mm x 2.0 mm，能在80 MHz至170 MHz的范圍內(nèi)以穩(wěn)定的高頻基本波振蕩。

近幾年來(lái)，更為快速的數(shù)位設(shè)備及更高的網(wǎng)絡(luò)承載容量，促成更高頻率運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)脈的使用需求。但是，大部份用來(lái)做為時(shí)脈源的高頻石英振蕩器，都是7.0 mm x 5.0 mm的大封裝。此外，常見(jiàn)于這些產(chǎn)品中的石英晶體(共振器)，多是以三階諧波模式運(yùn)作，其穩(wěn)定性是次于基本波的。因此對(duì)于更小型、更穩(wěn)定高頻率石英振蕩器的市場(chǎng)需求便因應(yīng)而生。

為回應(yīng)此一需求，Epson運(yùn)用其QMEMS 技術(shù)，將石英材料與微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)結(jié)合，推出SG-210S*H 系列產(chǎn)品。本系列產(chǎn)品中的振蕩器配備內(nèi)建的石英晶體，能以極為穩(wěn)定的基本波振蕩，不僅其封裝后的大小僅2.5 mm x 2.0 mm，同時(shí)，與現(xiàn)有同等Epson產(chǎn)品相較，耗電量約降低70%。

借由使用光學(xué)微影QMEMS 制程，能削薄靠近勵(lì)磁電源(電極)的石英晶片內(nèi)的特定區(qū)域，設(shè)立出一個(gè)蝕刻技術(shù)(inverted-mesa)的結(jié)構(gòu)，以達(dá)到高頻率基本波的小尺寸及高穩(wěn)定性。相位抖動(dòng)的典型值為0.3 ps，對(duì)于高速時(shí)脈源的這項(xiàng)重要特性來(lái)說(shuō)，是非常低的數(shù)值。