近日，五十五所與華為公司共同研發(fā)的E波段MEMS雙工器技術(shù)取得重大突破，研制出國(guó)產(chǎn)首款MEMS波導(dǎo)型雙工器。9月28日，雙方聯(lián)合研發(fā)團(tuán)隊(duì)在五十五所對(duì)研制的E波段MEMS雙工器進(jìn)行比對(duì)測(cè)試，產(chǎn)品性能與國(guó)外著名MEMS代工產(chǎn)線(xiàn)的樣品性能相媲美，完全滿(mǎn)足華為應(yīng)用需求。該E波段MEMS雙工器采用了五十五所自主開(kāi)發(fā)的MEMS濾波器工藝Know-How技術(shù)，優(yōu)化精簡(jiǎn)了雙工器工藝流程，與國(guó)外代工線(xiàn)相比，在性能相當(dāng)?shù)那闆r下，顯著降低了生產(chǎn)成本。E波段MEMS雙工器將國(guó)產(chǎn)MEMS濾波器頻率提升到E波段,產(chǎn)品的研制成功將極大推動(dòng)我國(guó)高頻寬帶濾波器核心器件研制進(jìn)程。

今年5月開(kāi)始，中國(guó)電科首席專(zhuān)家朱健團(tuán)隊(duì)與華為公司器件首席專(zhuān)家謝榮華團(tuán)隊(duì)就聯(lián)合開(kāi)發(fā)E波段MEMS雙工器進(jìn)行了正式合作洽談，雙方從設(shè)計(jì)、工藝、低成本等多方面展開(kāi)了研討。會(huì)后五十五所積極響應(yīng)，針對(duì)華為公司不同應(yīng)用的側(cè)重點(diǎn)，在一周之內(nèi)拿出了分布實(shí)施的三套技術(shù)方案，并在短短1個(gè)月內(nèi)就研制出首輪E波段雙工器樣品。

據(jù)悉，五十五所MEMS濾波器團(tuán)隊(duì)距2005年開(kāi)發(fā)出國(guó)產(chǎn)首款MEMS濾波器產(chǎn)品至今，已開(kāi)發(fā)出L-Ka波段千余款系列MEMS產(chǎn)品；針對(duì)華為的5G通信需求，已推出28 GHz、42GHz等MEMS濾波器產(chǎn)品。