構筑國產化合物半導體功率器件測試驗證的能力基石

泰克科技（中國）有限公司和矽電半導體設備（深圳）股份有限公司戰略合作發布會在深圳創投大廈矽電總部召開，同一時間，泰克（中國）和矽電半導體宣布測試測量聯合實驗室正式成立。

毫無疑問，由于雙碳目標及綠色生態的政策傾向，ESG浪潮來襲，以SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）為代表的第三代半導體已經成為高性能器件廠商的優先選擇，功率器件也成為中國半導體市場的新亮點。市場調研機構Yole最新研究報告指出，全球功率半導體器件市場將從2020年的175億美元增長至2026年的262億美元，而其中約70%來自汽車市場。

隨之而來的是第三代半導體芯片和功率器件研發、生產中的測試測量難點和挑戰，如高壓放電、大電流測試、高溫性能測試、超薄翹曲晶圓轉運等難題。

矽電半導體作為國內半導體產線批量點測設備的頭部生產廠家，經過20年的技術累積，掌握了探針測試多項核心關鍵技術，其產品涵蓋集成電路、光電芯片、分立器件、第三代半導體等領域。泰克（中國）作為國際領先的測試測量解決方案供應商，可以提供全流程半導體參數測試方案。泰克（中國）和矽電半導體的強強聯手，有助于高效解決業內這些測試難點，在晶圓級測試節點提供WAT、CP、WLR、KGD等測試，在模塊級測試節點提供動靜態參數測試、封測和可靠性測試，覆蓋了整個化合物半導體功率器件全制程。

泰克（中國）和矽電半導體自2015年開展合作以來，在LED Wafer點測市場，取得了突破和進展。本次泰克和矽電戰略合作意向書的簽署，將“進一步發展和深化在Wafer Acceptance Test（簡稱WAT）市場的戰略合作，以期進一步開拓中國市場，為客戶在WAT測試領域提供整體性解決方案，并為客戶降低成本以提高競爭力”。

與此同時，矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯合實驗室也宣布正式成立。此聯合實驗室旨在強化國產化合物半導體功率器件測試驗證的能力，進一步探究和優化基于高精度和高吞吐率下的一過性解決方案。實驗室提供了可用于12寸、8寸晶圓的全自動探針臺，具備

•  支持最高3000V/100A的高壓及大電流測試

•  探針系統測試漏電流<100pA@1000V

•  WLR支持實現TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等測試功能

•  支持高溫測試，溫度可達200°C

•  特殊絕緣設計避免擊穿和打火，靜態測試最高電壓3000V，動態測試最高電壓2000V

•  搬運/探針部分與測試部分分離，可擴展性強

•  支持鐵環，藍膜，華夫盒，Tap Reel等進出料方式

•  支持多臺站并行測試

關于矽電

矽電半導體設備（深圳）股份有限公司（簡稱“矽電”），成立于2003年12月25日，主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，專注于半導體探針臺測試技術領域，系中國境內領先的探針測試技術系列設備制造企業。矽電半導體自主研發了多種類型應用探針測試技術的半導體設備，產品已廣泛應用于集成電路、光電芯片、分立器件、第三代化合物半導體等半導體產品制造領域，已成為中國大陸規模最大的探針臺設備制造企業。

關于泰克科技

泰克公司總部位于美國俄勒岡州畢佛頓市，致力提供創新、精確、操作簡便的測試、測量和監測解決方案，解決各種問題，釋放洞察力，推動創新能力。70多年來，泰克一直走在數字時代前沿。歡迎加入我們的創新之旅，敬請登錄：tek.com.cn