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隨著各種新概念、新理論、新材料、新技術(shù)被用于無源元件領(lǐng)域,無源元件已經(jīng)成為一個創(chuàng)新十分活躍的技術(shù)領(lǐng)域。
近半個世紀(jì)以來,信息技術(shù)的高速發(fā)展改變著人類文明的進程,這在很大程度上得益于半導(dǎo)體器件集成技術(shù)的不斷創(chuàng)新。這一現(xiàn)象被描述為著名的摩爾定律,即半導(dǎo)體集成電路的集成度每18個月翻一番。相比之下,半導(dǎo)體器件以外的為數(shù)眾多的電子元件,我們統(tǒng)稱為無源元件的發(fā)展則相對緩慢,構(gòu)成了電子技術(shù)發(fā)展的一個瓶頸。
隨著各種新概念、新理論、新材料、新技術(shù)被用于無源元件領(lǐng)域,無源元件已經(jīng)成為一個創(chuàng)新十分活躍的技術(shù)領(lǐng)域。
新一代無源集成材料相繼問世
近年來出現(xiàn)的低溫共燒陶瓷技術(shù)(LTCC)使無源元件的集成成為可能。LTCC技術(shù)是集互聯(lián)、無源元件和封裝于一體的多層陶瓷制造技術(shù)。其基本原理是將多層陶瓷元件技術(shù)與多層電路圖形技術(shù)相結(jié)合,利用低溫?zé)Y(jié)陶瓷與金屬內(nèi)導(dǎo)體在900℃以下共燒,在多層陶瓷內(nèi)部形成無源元件和互連,制成模塊化集成器件或三維陶瓷基多層電路。該技術(shù)為無源電子元件的集成和高密度、系統(tǒng)級電子封裝提供了理想的平臺。LTCC技術(shù)涉及一系列復(fù)雜的科學(xué)技術(shù)問題,而其核心問題之一則是低溫共燒陶瓷材料。
低溫共燒陶瓷材料是LTCC技術(shù)的基礎(chǔ)。其中最重要的材料是低介電常數(shù)(ε在10以下)低燒陶瓷,而目前亟待突破的難點是實現(xiàn)性能的系列化。盡管文獻報道的低介LTCC材料種類很多,但迄今可商品化的基本上屬于兩大類材料:一類是微晶玻璃系統(tǒng),有實用價值的是以Ca0-B203-Si02為主配方的材料系統(tǒng)(簡稱 CBS系),為美國Ferro公司的專利。其特點是結(jié)晶相直接從玻璃中析出,因此材料具有較好的顯微結(jié)構(gòu)均勻性。其主要問題是,B3+的增多會增大材料介質(zhì)損耗并降低其力學(xué)性能,而Si4+增加則會使燒結(jié)溫度增高,因此難于對體系組分進行調(diào)整以實現(xiàn)系列化。第二類是以陶瓷氧化物顆粒和低熔玻璃相復(fù)合的陶瓷-玻璃復(fù)合材料。美國杜邦公司和德國Heraeus公司的LTCC瓷料屬于這一類。這類體系性能可調(diào)的前提是能夠進一步降低玻璃相熔點,而杜邦公司和Heraeus公司所選擇的低燒玻璃主要是硼硅系玻璃和鈉玻璃,其中促進燒結(jié)溫度降低的Na和B的組分的增加都將導(dǎo)致介電損耗的增加。可見,制約低介LTCC材料系列化的核心問題是材料的燒結(jié)溫度與介電性質(zhì)之間的矛盾。現(xiàn)有商用低介電常數(shù)LTCC材料的組成均選擇在其性能所能容忍的最低燒結(jié)溫度點上,任何對材料摻雜改性的努力均將導(dǎo)致材料燒結(jié)溫度的提高,使材料無法滿足共燒要求。而只有基方材料同時具有低介電常數(shù)、介電損耗以及低的燒結(jié)溫度,才能承受更多的改性組分的引入以實現(xiàn)對材料性能(如介電常數(shù)、熱性能、機械特性等)的調(diào)節(jié)。因此,尋找兼具有低的介電常數(shù)及介電損耗和低的燒結(jié)溫度的基方材料是實現(xiàn)高性能系列化低介LTCC材料的關(guān)鍵。
近年來,我們通過系統(tǒng)地研究,發(fā)展出了以硅鋁氟氧化物為基礎(chǔ)的新一代LTCC基方材料。通過氟的引入不僅有效降低了介質(zhì)的介電常數(shù)和介電損耗,還更大幅度地降低了陶瓷的燒結(jié)溫度。通過氟的調(diào)制,使基方材料在加入各種高熔點調(diào)節(jié)劑時依然可以實現(xiàn)低溫?zé)Y(jié),因而具有廣闊的優(yōu)化和剪裁空間。
超常電磁介質(zhì)不斷改進
電磁介質(zhì)是無源電子元件的基礎(chǔ)和核心部分,無源元件的重大發(fā)展很大程度上得益于介質(zhì)材料的改進和提高。然而,經(jīng)過近一個世紀(jì)的探索,常規(guī)介質(zhì)材料的可改進空間已經(jīng)越來越小。“超常介質(zhì)”(metamaterials,又稱“超材料”)指的是一大類具有人工設(shè)計結(jié)構(gòu)和超常物理性質(zhì)的材料系統(tǒng)。近年來,光子(電磁波)帶隙理論、左手介質(zhì)理論等的提出為設(shè)計這類新型材料系統(tǒng)提供了理論依據(jù)。超常介質(zhì)可望為無源元件和無源集成的發(fā)展提供一個突破口,具有超常物理性質(zhì)的介質(zhì)有可能成為新一代電子元件的基礎(chǔ)。一些基于超常介質(zhì)的新型無源元件,如超小型化的濾波器、微型天線、無繞線電感等相繼被提出。通過人工設(shè)計的結(jié)構(gòu)可望使用較少的(1-2種)材料實現(xiàn)通常需要多種材料才能實現(xiàn)的多種元件功能,這將有利于克服無源集成所面臨的材料兼容障礙。同時,以無源元件為結(jié)構(gòu)單元的網(wǎng)絡(luò)也是目前實現(xiàn)各種超常物理特性設(shè)計的基礎(chǔ)。
憶阻器被證實存在
按照我們目前的知識,基本的無源電子元件只有3大類,即電阻器、電容器和電感器。而事實上,無源電路中有4大基本變量,即電流、電壓、電荷和磁通量。早在1971年加州大學(xué)伯克利分校的蔡少棠(LeonChua)教授就提出一種預(yù)測:應(yīng)該有第四個元件的存在。他在其論文《憶阻器:下落不明的電路元件》提出了一類新型無源元件—記憶電阻器(簡稱憶阻器)的原始理論架構(gòu),推測電路有天然的記憶能力。憶阻器是一種有記憶功能的非線性電阻。通過控制電流的變化可改變其阻值,如果把高阻值定義為“ 1”,低阻值定義為“0”,則這種電阻就可以實現(xiàn)存儲數(shù)據(jù)的功能。
2008年,美國惠普實驗室下屬的信息和量子系統(tǒng)實驗室的研究人員在英國《自然》雜志上發(fā)表論文宣稱,他們已經(jīng)證實了電路世界中的第四種基本元件——— 憶阻器(Memristor)的存在,并成功設(shè)計出一個能工作的憶阻器實物模型。在該系統(tǒng)中,固態(tài)電子和離子運輸在一個外加偏置電壓下是耦合在一起的。這一發(fā)現(xiàn)可幫助解釋過去50年來在電子裝置中所觀察到的明顯異常的回滯電流—電壓行為的很多例子。憶阻器器件的最有趣的特征是它可以記憶流經(jīng)它的電荷數(shù)量。其電阻取決于多少電荷經(jīng)過了這個器件,即讓電荷以一個方向流過,電阻會增加;如果讓電荷以反向流動,電阻就會減小。簡單地說,這種器件在任一時刻的電阻是時間的函數(shù)——— 多少電荷向前或向后經(jīng)過了它。
目前已經(jīng)可以通過一些技術(shù)途徑實現(xiàn)憶阻器,但制約這類新硬件發(fā)展的主要問題是電路中的設(shè)計。目前還沒有憶阻器的設(shè)計模型使其用于電路當(dāng)中。有人預(yù)測,這種產(chǎn)品5年后才可能投入商業(yè)應(yīng)用。
憶阻器將有可能用來制造非易失性存儲設(shè)備、即開型PC(個人電腦)、更高能效的計算機和類似人類大腦方式處理與聯(lián)系信息的模擬式計算機等,甚至可能會通過大大提高晶體管所能達到的功能密度,這將對電子科學(xué)的發(fā)展歷程產(chǎn)生重大影響。
近半個世紀(jì)以來,信息技術(shù)的高速發(fā)展改變著人類文明的進程,這在很大程度上得益于半導(dǎo)體器件集成技術(shù)的不斷創(chuàng)新。這一現(xiàn)象被描述為著名的摩爾定律,即半導(dǎo)體集成電路的集成度每18個月翻一番。相比之下,半導(dǎo)體器件以外的為數(shù)眾多的電子元件,我們統(tǒng)稱為無源元件的發(fā)展則相對緩慢,構(gòu)成了電子技術(shù)發(fā)展的一個瓶頸。
隨著各種新概念、新理論、新材料、新技術(shù)被用于無源元件領(lǐng)域,無源元件已經(jīng)成為一個創(chuàng)新十分活躍的技術(shù)領(lǐng)域。
新一代無源集成材料相繼問世
近年來出現(xiàn)的低溫共燒陶瓷技術(shù)(LTCC)使無源元件的集成成為可能。LTCC技術(shù)是集互聯(lián)、無源元件和封裝于一體的多層陶瓷制造技術(shù)。其基本原理是將多層陶瓷元件技術(shù)與多層電路圖形技術(shù)相結(jié)合,利用低溫?zé)Y(jié)陶瓷與金屬內(nèi)導(dǎo)體在900℃以下共燒,在多層陶瓷內(nèi)部形成無源元件和互連,制成模塊化集成器件或三維陶瓷基多層電路。該技術(shù)為無源電子元件的集成和高密度、系統(tǒng)級電子封裝提供了理想的平臺。LTCC技術(shù)涉及一系列復(fù)雜的科學(xué)技術(shù)問題,而其核心問題之一則是低溫共燒陶瓷材料。
低溫共燒陶瓷材料是LTCC技術(shù)的基礎(chǔ)。其中最重要的材料是低介電常數(shù)(ε在10以下)低燒陶瓷,而目前亟待突破的難點是實現(xiàn)性能的系列化。盡管文獻報道的低介LTCC材料種類很多,但迄今可商品化的基本上屬于兩大類材料:一類是微晶玻璃系統(tǒng),有實用價值的是以Ca0-B203-Si02為主配方的材料系統(tǒng)(簡稱 CBS系),為美國Ferro公司的專利。其特點是結(jié)晶相直接從玻璃中析出,因此材料具有較好的顯微結(jié)構(gòu)均勻性。其主要問題是,B3+的增多會增大材料介質(zhì)損耗并降低其力學(xué)性能,而Si4+增加則會使燒結(jié)溫度增高,因此難于對體系組分進行調(diào)整以實現(xiàn)系列化。第二類是以陶瓷氧化物顆粒和低熔玻璃相復(fù)合的陶瓷-玻璃復(fù)合材料。美國杜邦公司和德國Heraeus公司的LTCC瓷料屬于這一類。這類體系性能可調(diào)的前提是能夠進一步降低玻璃相熔點,而杜邦公司和Heraeus公司所選擇的低燒玻璃主要是硼硅系玻璃和鈉玻璃,其中促進燒結(jié)溫度降低的Na和B的組分的增加都將導(dǎo)致介電損耗的增加。可見,制約低介LTCC材料系列化的核心問題是材料的燒結(jié)溫度與介電性質(zhì)之間的矛盾。現(xiàn)有商用低介電常數(shù)LTCC材料的組成均選擇在其性能所能容忍的最低燒結(jié)溫度點上,任何對材料摻雜改性的努力均將導(dǎo)致材料燒結(jié)溫度的提高,使材料無法滿足共燒要求。而只有基方材料同時具有低介電常數(shù)、介電損耗以及低的燒結(jié)溫度,才能承受更多的改性組分的引入以實現(xiàn)對材料性能(如介電常數(shù)、熱性能、機械特性等)的調(diào)節(jié)。因此,尋找兼具有低的介電常數(shù)及介電損耗和低的燒結(jié)溫度的基方材料是實現(xiàn)高性能系列化低介LTCC材料的關(guān)鍵。
近年來,我們通過系統(tǒng)地研究,發(fā)展出了以硅鋁氟氧化物為基礎(chǔ)的新一代LTCC基方材料。通過氟的引入不僅有效降低了介質(zhì)的介電常數(shù)和介電損耗,還更大幅度地降低了陶瓷的燒結(jié)溫度。通過氟的調(diào)制,使基方材料在加入各種高熔點調(diào)節(jié)劑時依然可以實現(xiàn)低溫?zé)Y(jié),因而具有廣闊的優(yōu)化和剪裁空間。
超常電磁介質(zhì)不斷改進
電磁介質(zhì)是無源電子元件的基礎(chǔ)和核心部分,無源元件的重大發(fā)展很大程度上得益于介質(zhì)材料的改進和提高。然而,經(jīng)過近一個世紀(jì)的探索,常規(guī)介質(zhì)材料的可改進空間已經(jīng)越來越小。“超常介質(zhì)”(metamaterials,又稱“超材料”)指的是一大類具有人工設(shè)計結(jié)構(gòu)和超常物理性質(zhì)的材料系統(tǒng)。近年來,光子(電磁波)帶隙理論、左手介質(zhì)理論等的提出為設(shè)計這類新型材料系統(tǒng)提供了理論依據(jù)。超常介質(zhì)可望為無源元件和無源集成的發(fā)展提供一個突破口,具有超常物理性質(zhì)的介質(zhì)有可能成為新一代電子元件的基礎(chǔ)。一些基于超常介質(zhì)的新型無源元件,如超小型化的濾波器、微型天線、無繞線電感等相繼被提出。通過人工設(shè)計的結(jié)構(gòu)可望使用較少的(1-2種)材料實現(xiàn)通常需要多種材料才能實現(xiàn)的多種元件功能,這將有利于克服無源集成所面臨的材料兼容障礙。同時,以無源元件為結(jié)構(gòu)單元的網(wǎng)絡(luò)也是目前實現(xiàn)各種超常物理特性設(shè)計的基礎(chǔ)。
憶阻器被證實存在
按照我們目前的知識,基本的無源電子元件只有3大類,即電阻器、電容器和電感器。而事實上,無源電路中有4大基本變量,即電流、電壓、電荷和磁通量。早在1971年加州大學(xué)伯克利分校的蔡少棠(LeonChua)教授就提出一種預(yù)測:應(yīng)該有第四個元件的存在。他在其論文《憶阻器:下落不明的電路元件》提出了一類新型無源元件—記憶電阻器(簡稱憶阻器)的原始理論架構(gòu),推測電路有天然的記憶能力。憶阻器是一種有記憶功能的非線性電阻。通過控制電流的變化可改變其阻值,如果把高阻值定義為“ 1”,低阻值定義為“0”,則這種電阻就可以實現(xiàn)存儲數(shù)據(jù)的功能。
2008年,美國惠普實驗室下屬的信息和量子系統(tǒng)實驗室的研究人員在英國《自然》雜志上發(fā)表論文宣稱,他們已經(jīng)證實了電路世界中的第四種基本元件——— 憶阻器(Memristor)的存在,并成功設(shè)計出一個能工作的憶阻器實物模型。在該系統(tǒng)中,固態(tài)電子和離子運輸在一個外加偏置電壓下是耦合在一起的。這一發(fā)現(xiàn)可幫助解釋過去50年來在電子裝置中所觀察到的明顯異常的回滯電流—電壓行為的很多例子。憶阻器器件的最有趣的特征是它可以記憶流經(jīng)它的電荷數(shù)量。其電阻取決于多少電荷經(jīng)過了這個器件,即讓電荷以一個方向流過,電阻會增加;如果讓電荷以反向流動,電阻就會減小。簡單地說,這種器件在任一時刻的電阻是時間的函數(shù)——— 多少電荷向前或向后經(jīng)過了它。
目前已經(jīng)可以通過一些技術(shù)途徑實現(xiàn)憶阻器,但制約這類新硬件發(fā)展的主要問題是電路中的設(shè)計。目前還沒有憶阻器的設(shè)計模型使其用于電路當(dāng)中。有人預(yù)測,這種產(chǎn)品5年后才可能投入商業(yè)應(yīng)用。
憶阻器將有可能用來制造非易失性存儲設(shè)備、即開型PC(個人電腦)、更高能效的計算機和類似人類大腦方式處理與聯(lián)系信息的模擬式計算機等,甚至可能會通過大大提高晶體管所能達到的功能密度,這將對電子科學(xué)的發(fā)展歷程產(chǎn)生重大影響。