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半導(dǎo)體所在低發(fā)散角光子晶體激光器研究方面取得重大進展

2013-03-13 來源:中科院半導(dǎo)體所 字號:

半導(dǎo)體激光器以其體積小、重量輕、效率高、壽命較長、易于調(diào)制及價格低廉等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于軍事和民用的眾多領(lǐng)域。然而傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器垂直(快軸)發(fā)散角比較大(40度左右),且輸出光呈橢圓形分布,光束質(zhì)量差,需要復(fù)雜的光束整形才能直接應(yīng)用,極大限制了半導(dǎo)體激光器在諸多領(lǐng)域的應(yīng)用,因此提高光束質(zhì)量及其輸出功率是半導(dǎo)體激光當今的研究熱點。

為了獲得高光束質(zhì)量、低發(fā)散角的半導(dǎo)體激光器,在國家自然科學(xué)基金委和科技部等的支持下,半導(dǎo)體所集成光電子學(xué)國家重點聯(lián)合實驗室鄭婉華研究組在傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器中引入光子晶體結(jié)構(gòu),利用光子晶體對光子態(tài)的調(diào)控機制,調(diào)控激光振蕩模式,從芯片層次改善激光的輸出光束質(zhì)量。他們首次在國際上研制出905nm波段的高光束質(zhì)量光子晶體激光器,500µm腔長未鍍膜情況下,室溫直流輸出功率大于1W,閾值電流300mA,斜率效率0.63mW/mA,激光輸出遠場呈近圓斑分布,垂直(快軸)發(fā)散角6.5o,水平(慢軸)發(fā)散角7.1o,相應(yīng)測試結(jié)果見圖示。該研究方案仍然保留了半導(dǎo)體激光器研制的批產(chǎn)化特點。

  圖1 905nm光子晶體激光器P-I-V曲線(插圖:激光光譜)

 圖2 905nm光子晶體激光器遠場發(fā)散角(插圖:激光輸出遠場光斑CCD照片)

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