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基于石墨烯的場效應(yīng)管概念

2013-10-18 來源:微波射頻網(wǎng) 字號:

場效應(yīng)管(FET)是一種具有pn結(jié)的正向受控作用的有源器件,它是利用電場效應(yīng)來控制輸出電流的大小,其輸入端pn一般工作于反偏狀態(tài)或絕緣狀態(tài),輸入電阻很高,柵極處于絕緣狀態(tài)的場效應(yīng)管,輸入阻抗很大。目前廣泛應(yīng)用的是SiO2為絕緣層的絕緣柵場效應(yīng)管,稱為金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)管,簡稱MOSFET。以功能類型劃分,MOSFET分為增強型和耗盡型兩種,其中耗盡型與增強型主要區(qū)別是在制造SiO2絕緣層中有大量的正離子,使在P型襯底的界面上感應(yīng)出較多的負(fù)電荷,即在兩個N型區(qū)中間的P型硅內(nèi)形成一層N型硅薄層而形成一個導(dǎo)電溝道,所以在VGS=0時,有VDS作用時也有一定的ID(IDSS);當(dāng)VGS有電壓時(可以是正電壓或負(fù)電壓),改變感應(yīng)的負(fù)電荷數(shù)量,從而改變ID的大小。VP為ID=0時的-VGS,稱為夾斷電壓。

MOSFET的特點是用柵極電壓來控制漏極電流。隨著微電子集成化的需要越來越高,F(xiàn)ET器件的尺寸也越來越小,而普通FET器件散熱性受材料本身限制很難有進一步的提高,石墨烯由于其優(yōu)良的熱導(dǎo)率制作出的FET器件“完美”的解決該問題。

自從場效應(yīng)管發(fā)明以來,人們一直嘗試將電場效應(yīng)應(yīng)用到金屬材料上,制造金屬基場效應(yīng)管。利用金屬制造晶體管不僅可以將尺度做小,而且可以降低功耗,并且使用頻率高于傳統(tǒng)半導(dǎo)體.但是由于金屬屏蔽效應(yīng),電場在金屬中的穿透深度小于 1nm,因此制造金屬晶體管時需要使用原子級厚度的金屬薄膜。但是由于熱動力學(xué)原因,當(dāng)金屬薄膜達(dá)到納米級別時不能穩(wěn)定存在。另外,對于金屬而言,電場效應(yīng)誘導(dǎo)的載流子濃度一般不會超過 1013cm-2,比納米尺度的金屬薄膜中的本征載流子濃度低幾個量級(近似可以忽略),通過電場效應(yīng)很難實現(xiàn)調(diào)制載流子濃度,因此利用金屬制造晶體管一直沒有實現(xiàn)。

半金屬 Graphene不僅具有高載流子濃度和載流子遷移率,亞微米尺度的彈道輸運特性和電場調(diào)制載流子特性,而且可以在室溫下穩(wěn)定存在,為 Graphene的實用化奠定了基礎(chǔ)。利用 Graphene制造的晶體管可以實現(xiàn)低功耗、高頻率、小型化等特性。由于 Graphene是半金屬性材料 (semi- metal),在狄拉克點處能帶交疊,沒有帶隙,因此很難實現(xiàn)開關(guān)特性。為了使 Graphene可以應(yīng)用于晶體管的制造,通過各種方法在 Graphene中形成帶隙:

(1)通過對稱性破缺場或相互作用等使Graphene簡并度降低,朗道能級發(fā)生劈裂,在導(dǎo)帶與價帶之間引入能隙。這方面工作目前主要集中在雙層Graphene上,通過摻雜、外加電場以及基底作用誘導(dǎo)等方式引入對稱破缺,實現(xiàn)人工調(diào)制能隙。

(2)對于弱無序體系,被弱屏蔽的庫侖相互作用可以改變帶粒子圖景,使 Graphene出現(xiàn)能隙 (量子霍爾鐵磁)。

(3)通過尺寸效應(yīng)或量子受限 (如Graphene nanoribbons)引入能隙。Barone等人通過密度泛函計算預(yù)言,對于手性納米帶,導(dǎo)帶與價帶間的帶隙隨著手性角的變化發(fā)生振蕩。對于某些類型的Graphene納米帶,通過調(diào)節(jié)納米帶寬,也可以實現(xiàn)對帶隙寬度的調(diào)節(jié) (能隙與納米帶寬之間存在反比關(guān)系)。

本項目將結(jié)合我們的研究優(yōu)勢對石墨烯開展深入系統(tǒng)的特色研究,從理論模擬、材料制備、器件制作三個層面開展全面工作,力求對中國軍事的發(fā)展起到積極的推動作用。本項目針對石墨烯這一新物質(zhì)形態(tài)的關(guān)鍵問題及前沿發(fā)展動態(tài),結(jié)合我們自身的工作基礎(chǔ),以大面積、高質(zhì)量石墨烯材料的可控制備為主要突破口,以石墨烯基超高頻器件MOSFET應(yīng)用為導(dǎo)向,最終制備出具有一定功能的電路模塊。強調(diào)理論、材料和器件之間的互相促進與合作,有針對性地對石墨烯的若干基本科學(xué)問題開展研究,例如:探索高質(zhì)量石墨烯的可控、晶圓級制備方法;測量其電、光、熱、力學(xué)等宏觀特性和局域性能,研究結(jié)構(gòu)與物性的關(guān)聯(lián);研制基于石墨烯的超高頻MOSFET器件和功能電路等,力求對中國軍事裝備特別是下一代武器用超高頻元器件的發(fā)展起到積極的推動作用。

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